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苏州优版光电有限公司

主营产品:光学仪器

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公司名称:苏州优版光电有限公司

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发布时间:2024-01-22 19:13:13


光掩膜是刻有微电路的版,由表面纯平并带有一层铬的石英板或玻璃板制作而成,蚀刻后的残留铬部分即为设计的微电图。这种制版方式在掩膜行业称为光透。


半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻袭工艺,在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套(几块zhidao多至十几块)相互间能套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。



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刻蚀或离子注入完成后,将进行光刻的后一步,即将光刻胶去除,以方便进行半导体器件制造的其他步骤。通常,半导体器件制造整个过程中,会进行很多次光刻流程。生产复杂集成电路的工艺过程中可能需要进行多达50步光刻,而生产薄膜所需的光刻次数会少一些。光掩膜有掩膜原版(reticlemask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到mastermaks上,应用到实际曝光中的为工作掩膜(workingmask),工作掩膜由mastermask复i制过来。



随着冲版量的不断增加和空气中的CO2不断溶入,显影液中的OH-浓度会下降,pH值将越来越低,显影时间应慢慢变长,至后在正常曝光条件下PS版无法显影,这就是显影液疲劳的现象。但随着显影液pH值的降低,碱液对氧化层和涂层树脂的腐蚀力下降,版材的网点再现性及耐印力比用新配制的显影液好一些。但必须注意两点,一是冲版量必须控制在显影液容许范围内;缺点:批量要求大,每次修改程序就需要重新做光刻板,不同程序不能同时生产,供货周期长。




按石英含量可分为两类:①长石石英岩,石英含量大于75%,常含长石及云母等矿物,长石含量一般少于20%。如长石含量增多,则过渡为浅粒岩。②石英岩,石英含量大于90%,可含少量云母、长石、磁铁矿等矿物。



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2023-12-05 08:55:45
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2024-01-12 11:17:25
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2023-12-13 18:48:04
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2024-01-22 19:28:01
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2024-01-04 08:27:31
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